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擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)組成原理圖

發(fā)布時(shí)間:2023-05-11 18:04:55人氣:

擴(kuò)散硅壓力傳感器是制造壓力傳感器和變送器的核心部件。以南京沃天擴(kuò)散硅壓力芯為例,說一下擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

擴(kuò)散硅壓力傳感器由補(bǔ)償板、鋼球、底座、O型圈、芯片、陶瓷墊、膜片、壓力環(huán)、硅油等組成。在圖中的結(jié)構(gòu)中,每個(gè)部分都有相應(yīng)的作用和特點(diǎn):

擴(kuò)散硅壓力傳感器

擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)組成部分:

1.補(bǔ)償板:信號(hào)放大

2.鋼球:密封油

3.底座:壓力傳感器的載體

4.O型圈:密封

5.芯片:感到壓力

6.陶瓷墊:填充

7.隔膜:接觸液體或氣體進(jìn)行測(cè)量

8.壓環(huán):將膜片焊接到底座上

9.硅油:傳導(dǎo)壓力

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