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微型共焦的位移測量傳感器系統(tǒng)怎么樣?

發(fā)布時間:2023-05-11 17:48:18人氣:

自Micro-Epsilon的共焦測量系統(tǒng)正在擴(kuò)展,加上optoNCDT2402系列。非接觸技術(shù)是基于色共聚焦原理。它是用來測量位移和距離精確到納米。新系列提供了共聚焦測量的優(yōu)點(diǎn)于一身的小型化設(shè)計(jì)。為了實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo),白光是使用哪從評價(jià)單元經(jīng)由光纖到傳感器在那里被分離的透鏡系統(tǒng),然后被聚焦在測量對象上傳遞。


在這里,不同的光譜反射NACH的光的縱向像差和視距離。到達(dá)傳感器的波長的光被通過光纖耦合器傳遞到在評估單元中的受光光學(xué)系統(tǒng)。期間執(zhí)行由該公司的校準(zhǔn),每個顏色頻譜被分配一個限定的距離,使測量對象物的表面的輪廓被重構(gòu)。的各種顏色的光譜僅區(qū)分由幾納米。


由于從微小量的受光光學(xué)系統(tǒng)可以非常精確地設(shè)定光譜區(qū)分,非常高的分辨率就產(chǎn)生了。在對比常規(guī)共焦傳感器,該傳感器有一個直徑所以這有利于在狹窄的空腔測量僅僅4毫米。通過可選的90光束偏轉(zhuǎn)有那么收購窄鉆孔墻體結(jié)構(gòu)的可能性。因?yàn)楣饪梢詿o損失地運(yùn)送過來的光纖,高達(dá)50米的距離可以評估裝置和光學(xué)系統(tǒng)之間進(jìn)行橋接,這允許在區(qū)域受到爆炸危險(xiǎn)要使用的傳感器,在真空或在強(qiáng)電磁領(lǐng)域。由于引用的規(guī)格和它的鈦外殼,它是非常適合于在半導(dǎo)體,化學(xué)或醫(yī)療等領(lǐng)域的自動化生產(chǎn)過程。

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