電容式傳感器是將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。電容式傳感器工作原理及類型由物理學可知，在忽略邊緣效應的情況下，平板電容器的電容量為 （F）    式中    真空的介電常數(shù)，  =8.85410-12F/m；        ε極板間介質(zhì)的相對介電系數(shù)，在空氣中，ε=1；        S極板的遮蓋面積（m2）；        δ兩平行極板間的距離（m)。    上式表明，當被測量δ、S或ε發(fā)生變化時，會引起電容的變化。

如果保持其中的兩個參數(shù)不變，而僅改變另一個參數(shù)，就可把該參數(shù)的變化變換為單一電容量的變化，再通過配套的測量電路，將電容的變化轉(zhuǎn)換為電信號輸出。根據(jù)電容器參數(shù)變化的特性，電容式傳感器可分為極距變化型、面積變化型和介質(zhì)變化型三種，其中極距變化型和面積變化型應用較廣。

極距變化型電容式傳感器極距變化型電容式傳感器靈敏度K與極距平方成反比，極距愈小，靈敏度愈高。一般通過減小初始極距來提高靈敏度。由于電容量C與極距δ呈非線性關(guān)系，故這將引起非線性誤差。為了減小這一誤差，通常規(guī)定測量范圍 。一般取極距變化范圍為。此時，傳感器的靈敏度近似為常數(shù)。

實際應用中，為了提高傳感器的靈敏度、增大線性工作范圍和克服外界條件（如電源電壓、環(huán)境溫度等）的變化對測量精度的影響，常常采用差動型電容式傳感器。